青島進(jìn)口真空泵石墨轉(zhuǎn)子生產(chǎn)廠家：

跟著真空技術(shù)在各個(gè)應(yīng)用范疇的不斷擴(kuò)大，直聯(lián)旋片泵的需求量越來(lái)越大。由于這種泵數(shù)量很多，加工安裝工作量很大，價(jià)格又很低，所以有的國(guó)外真空廠商在我國(guó)樹立專業(yè)廠。國(guó)產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上現(xiàn)已過(guò)關(guān)，價(jià)格又遠(yuǎn)比國(guó)外的泵便宜，所以國(guó)產(chǎn)泵依然有競(jìng)賽優(yōu)勢(shì)，關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的功能質(zhì)量問(wèn)題，確保直聯(lián)泵在高速、高溫下功能穩(wěn)定和運(yùn)轉(zhuǎn)可靠，同時(shí)還要進(jìn)一步進(jìn)步國(guó)產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的才能。

分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體范疇里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)替代低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等設(shè)備都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。石墨轉(zhuǎn)子屬于鋁合金熔煉配套設(shè)備中的一個(gè)部件，鋁合金熔煉過(guò)程中會(huì)產(chǎn)氫氣和氧化廢渣，要通過(guò)精煉除氣機(jī)將其凈化并清除去，石墨轉(zhuǎn)子是精煉除氣除渣機(jī)的不可缺少的配件之一。石墨轉(zhuǎn)子由轉(zhuǎn)子桿、噴頭兩部分組成。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。

為了進(jìn)步抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜設(shè)備上應(yīng)用，既進(jìn)步了生產(chǎn)效率又改進(jìn)了膜層質(zhì)量。跟著我國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究工作迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是我國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的要點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大樹立完好系列，以滿足不同場(chǎng)合的需求。